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Mit MECOS-Technologie angetriebene Strahlen-Chopper

Schnell drehende Chopper für verschiedene Arten von Anwendungen

Hochgeschwindigkeits-Chopper werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, um Strahlen unterschiedlicher Art zu takten, um sie mit einem übergeordneten Prozess zu synchronisieren. Zu den Anwendungsbereichen gehören Röntgen- und Elektronenstrahlen sowie Teilchenstrahlen wie Neutronenstrahlen in medizinischen Anwendungen.

Auf Magnetlagertechnik basierende Hochgeschwindigkeits-Chopper können beträchtliche Geschwindigkeiten (bis zu 100'000 U/min) erreichen und dabei eine sehr hohe Drehzahlgenauigkeit erzielen.

 

Merkmale und Vorteile

  • Sehr hohe Drehzahlen
  • Höchste Genauigkeit der Rotations­geschwindigkeit
  • Variabler Arbeitszyklus
  • Variabler Strahldurchmesser
  • Minimale Erwärmung des Prozessmediums
  • Keine Verunreinigung des Prozesses
  • Wartungsfrei

 

Breite Palette von Anwendungs­bereichen:

  • Wellenlänge: UV, EUV, Röntgenstrahlen
  • Teilchenstrahlen (Neutronen, Protonen, )
  • Ultrahochvakuum (<10-1 mbar)

Hochgeschwin­digkeits­verschlüsse für die Halbleiter­industrie

Die MECOS-Technologie ist in den Kern der Maskeninspektion und ‑reparatur für die Halbleiterindustrie integriert. Die EUV-Lithographie-Industrie erfordert höchste Genauigkeit der Ausrüstung und keine Kontamination des Prozesses

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Hochgeschwin­digkeits­verschlüsse (HSS)

Nennleistung:

245 W bei 300 Hz Drehgeschwindigkeit

Wesentliche Merkmale:

Reinraumumgebung, Inspektion und Reparatur von Masken

Umfang:

Komplette Verschlusseinheit

Anwendung:

EUV-Halbleiterindustrie

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Kontakt
mecos@mecos.com
+41 52 355 52 11